干式真空泵技术 — 尤其是可变螺距化学干式泵 — 在多种关键应用中具有明显、可衡量的优势。正确设计的干式螺杆真空泵可通过安全、可靠且经济高效的解决方案确保满足加工需求。

干式螺杆真空泵不需要水或油即可在真空级进行密封或润滑。因此，这些干式真空系统避免了废水的产生、污染和高昂的处理成本。

• 干式螺杆真空泵由两个平行的、非接触式螺旋形螺旋转子 (1)和 (2)组成（图 1），并通过精密齿轮 (3) 高速同步旋转。它们沿相反的方向旋转，从而在进气口 (5) 处捕集一定量的气体，并将其向排气口 (6) 输送并进入排气通道 (7)。缸体 (9) 壁和相互啮合的螺钉的特殊形状形成了用于输送气体的压缩室或腔室 (4)。

• 螺杆和缸体之间的小间隙，以及相互啮合的螺钉之间的小间隙确保了与由螺钉腔产生的气体向前流动相比，向进气口的反向泄漏量较小。

• 密封边界的长度（即，螺旋数和紧密间隙）可防止泵送气体逆流。在装有压板的泵上，当出口阀或端口首次露出时，气体会略微反向膨胀进入到螺杆中。在螺杆的作用下，捕获的气体量逐渐减小到零，因此可以迅速将其排出。

• 气体的反向流动主要由螺杆轮廓末端的“密封区”的宽度控制。这些宽阔的区域与定子紧密相邻，从而将气体的反向泄漏降至最低。螺杆泵的极限压力可以小于 0.01 torr (0.01 mBar)。 

• 在可变螺距模型中，随着螺距的变化，气体会被压缩，从而在泵排气之前提供额外的压缩。这使热负荷在转子的整个长度上更均匀地分布。在单螺距模型中，在最后半圈中抵靠着压缩板或阀实现更大的压缩，从而将热量的产生偏向排气口。在干式泵中，温度必须足够高以避免整体冷凝，同时又必须足够低以避免自燃和聚合。可变螺距泵中朝向排气口的逐渐升高的气体温度在很大程度上有助于防止泵送的蒸汽凝结。可变螺距螺杆泵也比单螺距螺杆泵更有效地利用动力。 

• 通过周围的护套 (8) 进行冷却。可以将泵配置为直接或间接的闭环冷却。后者有很多优点，因为这意味着装置的冷却水永远不会与泵的材料直接接触，并且护套不会因冷却水质量差而淤积或腐蚀。

• 有气镇端口 (10)。如果需要，气镇可以帮助快速加热冷泵或干燥湿泵，将易燃蒸气排除在其易燃范围之外，并有助于从泵中清除固体，特别是在冲洗溶剂期间。